1.划分系统，确定洁净度等级、确定净化方案（根据工艺要求确定洁净室的洁净度等级，选择气流流型，决定采用全室空气净化还是局部空气净化）

2.计算新风量，取以下各项中的大者：a.满足卫生要求的新风量，规范40 /(h.人）b.补偿室内排风和保持室内正压值所需新风之和；c.满足总风量一定一定比例的新风量。

3.计算洁净室的冷、热、湿负荷

4.计算洁净室送风量，取以下三项中最大值：a .为保证空气洁净度等级的送风量；b.根据冷、热、湿负荷计算确定的送风量；c.新风量

5.根据送风量、冷热负荷和选择的气流组织形式，计算气流组织各参数。

6.确定空气加热、冷却、加湿、减湿等空气处理方案及回风方式

7.根据工艺要求或气流组织计算时确定的送风温差及室内外设计计算参数，在i-d（焓湿）图上确定各状态点，计算空调器处理风量及洁净室循环风量。

8.计算总的冷、热负荷，选择空气处理设备